第112章 接近式光刻机
第112章 接近式光刻机
吴极不无感慨地说道：“浩然同志，如果不是遇见你，也不知道咱们要在黑暗之中摸索多久才能掌握那套设备的使用技术呢。”
“我寻思着我的英文也不算差啊，为啥会费那么大的劲儿用了那么长的时间也无法摸索清楚呢？”
王浩然微微一笑说道：“主要是他们这套设备设计得不够科学。”
“还有就是，您不熟悉这套电脑软件的用法。”
现在的蜥方，个人计算机的市场推广已经在加快速度。
苹果公司之外，还有至少六七家公司在推自己的微型电脑。
而华国过去自己搞出来的微型计算机，其实它就是专门用来搞计算的，跟蜥方的微型电脑是真的有很大的不同。
电脑科技真的要开始发力了。
张勇存笑着举起了酒杯，说道：“感谢浩然同志！”
“您一来就解决了咱们的大问题啊！”
“我敬您一个。”
王浩然赶忙端起自己的酒杯和张勇存碰了下杯。
碰杯的时候，他特别抬高了一点张勇存的手，让自己的杯子比张勇存的低了那么一点。
这是酒桌上的规矩。
张勇存是年长的前辈，王浩然自然是要表示一下尊重。
“张厂长您客气了呀，哈哈！”
王浩然一饮而尽。
王浩然虽然不善饮酒，但别人敬的酒得喝完了。
张勇存也是一口喝掉杯中的酒，他亲自给王浩然倒酒。
一边倒一边说道：“咱们厂现在生产任务很重啊！”
“良品率太低了，而国家的需求又很多，就算是没日没夜地加班生产，也满足不了需求。”
“这事儿让我常常感到苦恼。”
王浩然点点头说道：“我能理解您。”
张勇存又说：“听人说，国外的先进的曝光机系统生产效率非常的高。”
“咱们想要引进，国家也大力支持，但是，人家目前还对咱搞封锁，不肯卖。”
“咱们只能钱买人家的先进芯片，价格十分昂贵……”
曝光机系统，其实就是光刻机。
光刻机又被称之为掩模对准曝光机。
如今，先进的成套芯片制造流水线，龙国是买不到的。
王浩然笑着说道：“张厂长，我之所以过来你们厂学习，是因为我刚刚申请了一个芯片生产流水线改进的课题。”
“我打算研制一套国产的光刻机流水生产线。”
“把芯片生产的所有工序设备统统都改良一个遍儿。”
“这么做，也是为了提升咱们的芯片生产效率。”
张勇存等人一听都是大喜。
“真的吗？搞了半天，浩然同志你是要研制国产芯片生产线啊！哈哈哈！”张勇存大笑着说道。
吴极也是又惊又喜：“这可是咱们厂目前最最需要的东西了！咱们需要生产效率更高的生产线！”
刘中友只是笑，他有点儿不太相信，王浩然真的能搞定这么浩大的一个课题工程。
他是学机械出身。
他太知道设计机械生产设备的难度了。
他也曾经想要改进曝光机，提升芯片生产效率。
但是，他努力了好几年了，也没什么进展呀。
王浩然说：“总得来说，咱们现在各个工业领域都存在生产效率不高这个问题。”
“这主要是因为咱们的生产设备已经落后于时代了。”
“机械设备越是标准化、自动化程度高，生产的效率也就会相应地大幅度提升。”
“而要想提高生产设备的标准化自动化程度，那就要让机械设备有自己的大脑。”
王浩然说着还用手指轻轻戳了一下自己的头。
刘中友问了一句：“让机械设备拥有自己的大脑？这是什么意思呢？”
王浩然说：“就是给设备安装控制程序，用处理器充当其大脑，写入操控程序，使得其可以自动化规范化地进行生产。”
“几位都去过国外参观考察吧？”
张勇存三人都纷纷点头。
张勇存说：“咱们1972年跟脚盆关系正常化之后，我们组织去过脚盆进行考察。”
“真就如浩然同志说的，我们发现，脚盆的工厂跟我们的完全不一样，他们的车间内有很多都是流水线作业，自动化程度高，效率也很高。”
王浩然说道：“其实我们只要对我们的生产设备进行改造，我们很快就可以赶上对方。”
“但关键一点，还是在芯片这一块啊！”
“所以，我们必须得先把芯片的问题给解决了。”
张勇存点点头说道：“今天晚上听浩然同志一席话，我真的是茅塞顿开啊！”
“没得说，您需要咱们提供什么样的支持，尽管说就是！”
“咱们一定全力配合！”
王浩然微笑着表示了感谢。
当晚，王浩然就在742厂的招待所住下。
次日早上，张勇存亲自过来陪王浩然一块儿吃早点。
早饭吃完之后，王浩然终于有机会前往742厂的车间参观。
其实也不是专门的参观，而是王浩然要用8086的掩膜版生产处理器芯片的样品。
王浩然进到车间一看，他内心叹了口气：呈现在眼前的压根不是现代化的生产车间，倒像个机械作坊。
设备也都很落后，基本上都是靠熟练工人的经验手感生产。
这种生产模式不是一般的落后啊。
而且，现在的硅片也只有3英寸，算是很小的尺寸了。
可如今在蜥方，主流芯片生产企业已经普遍在使用8寸的硅片了。
硅片尺寸越大，成本效益就越高，毕竟，大硅片意味着可以生产更多的芯片，还可减少生产过程中的废料率。
“浩然同志，这就是咱们自己研发的曝光机。”张勇存特别给王浩然介绍国产的光刻机设备。
那只是个很简陋的工作台，一看便知需要工作人员依靠自己的经验进行大量的操作。
而且，这光刻机还是硬接触式的。
所谓硬接触式光刻机，是指掩膜版跟晶圆上的光刻胶直接接触，紧贴晶圆，中间没有任何间隙。
这就会导致光刻胶污染掩膜版，而掩膜版被污染之后，那基本上就报废了，勉强使用，生产出来的全都是废品。
王浩然说：“张厂长，我现在终于明白为啥咱们良品率那么低了啊。”
“硬接触式的光刻机生产效率太低，而且，容易出废品。”
张勇存叹了口气说道：“您说得对。”
“咱们也一直想要改进呢，但是，目前还没有什么进展。”王浩然想了一下，说道：“张厂长要是相信我，我或者可以把这台光刻机给改进一下。”
“也许只需要一个很小的改进，它就能大幅度提升良品率了。”
王浩然这里嘴上说的只是个小的改进，其实吧，真要改动起来，是需要大动干戈的。
王浩然想要把接触式的光刻机改成接近式光刻机。
所谓接近式光刻机，掩膜版与晶圆之间并不真正接触，而是有了一个非常小的距离。
这个距离只有几个微米，这就可以使得掩膜版和硅片不会直接接触，进而降低了损坏的风险。
王浩然将自己的想法这么一说，张勇存还没说啥呢，刘中友和吴极都是大摇其头。
刘中友说：“浩然同志啊，那么小的距离，人工是没办法操作的。”
“除非设计一个精巧的机械装置。”
“但要设计这样一个机械装置，很难。”
吴极也说：“这个设想，咱们也有过，不过，因为无法实现，就最终放弃了。”
张勇存笑道：“吴工，刘工，伱俩也别先忙着否定，好不好？”
“浩然同志既然都这么说了，那没准他就有办法解决。”
吴极抓了抓自己的头发，有点儿不好意思地说：“我忘了浩然同志比咱们聪明太多这茬儿。”
“浩然同志，你打算怎么改进，咱们给你打下手。”
王浩然说：“我先画个设计图，干脆的，咱们就在试验车间里重新搞一台全新的光刻机出来，怎么样？”
张勇存点头道：“没问题，咱们全力支持！”
“您这可是在帮咱们的忙啊！”
于是，接下来，王浩然就先把接近式光刻机的设计图给画了出来。
设计图好画，但有些技术却是不容易达到的。
王浩然要让这台光刻机拥有一定的自动化规范化的生产能力。
那就需要给它搞个中控电脑。
这样的话，王浩然就要先设计处理器芯片，再搞一款传感器芯片。
他还要编写一个简单的控制程序，让这个程序来自动驱动机器完成曝光这个工作。
至于设备的加工，也是需要他亲自参与，亲力亲为的。
就这么地，王浩然在742厂待了足足二十多天，这才总算是把一台接近式的光刻机给搞了出来。
这台光刻机其实就是先凑合一下。
它设计简单，制造也简单。
当然，它也只能曝光跟掩膜版同样大小的晶圆。
这样的光刻机，目前在国际上也是已经有点儿落伍了。
接近式的光刻机造出来之后，已经是到了1978年的4月底了。
试验车间里，742厂的骨干技术人员和高管几乎都在。
他们看着眼前这台已经跟目前厂内使用的主力曝光机外形迥异的机器，都有点儿兴致勃勃。
当然，他们还有点儿忐忑。
他们不知道这台机器到底怎样，会不会更加好用一些。
“浩然同志，现在，咱们可以尝试着生产你之前设计的那款处理器芯片了吧？”张勇存笑着说道。
王浩然点点头说道：“可以的！”
“咱们费了那么大的劲儿总算是搞出来一台新机器，现在，是骡子是马，要拉出来遛遛了。”
王浩然内心此刻倒是自信满满。
因为，这台机器造得很完美。
造出来之后他就测试过了，还是相当好用的。
这台光刻机，他甚至连光源都做了改进，原本国内的光刻机都用的是汞灯来做光源。
而他在这台接近式光刻机上使用了一种全新的led阵列光源。
这种光源比之前使用的汞灯要好了不是一点半点。
当然，如果没有国家的支持，有很多材料目前是不容易找到的。
于是，接下来就开始测试新的光刻机。
在测试的过程中，王浩然和刘中友亲自操作。
刘中友只是打下手。
新的光刻机的工作表现让刘中友感到震惊。
因为，这台光刻机大量减少了需要人力操作的步骤。
响应速度快，曝光效果好。
而且，掩膜版也真的避免了被污染。
测试的时候，742厂的其他技术骨干和高管就在一旁围观。
他们所有人都被震惊了。
因为，这台新发明的光刻机显然要比老光刻机厉害了太多太多！
生产效率直接几何倍数的提升。
张勇存感慨地对吴极说道：“我觉得咱们之前的光刻机简直就是一堆工业垃圾！”
“也难怪咱们过去的良品率那么低了。”
既然要把8086处理器芯片给造出来，那当然就得在光刻之后做其他后续工序的处理。
这些工序加起来又用了好几天的时间。
到了4月中旬左右，第一批8086处理器芯片总算是完成了。
完成之后就是测试。
测试的结果显示，这块处理器各种参数十分惊人！
整个742厂轰动了。
张勇存高兴坏了。
因为，这是一下子搞出来两项重大发明啊！
张勇存就跟王浩然商量：“浩然同志，新的光刻机咱们很需要，这个成果是你为主搞出来的，能否在上报的时候，也加上我们742厂这边技术人员的名字？算是咱们742跟京城工业学院一块儿的合作成果？”
王浩然笑着说道：“当然没问题！”
“这台光刻机能够诞生，也离不开张厂长和各位742厂同志的帮助呀！”
王浩然答应得十分爽快。
因为，人家的确是帮了很多忙嘛！
张勇存大喜过望，他搓了搓手，说：“谢谢浩然同志！”
“那咱们就把这个成果上报了，你是成果的主要发明者，其他人都是辅助合作伙伴。”
王浩然说：“那就按您的想法办吧。”
张勇存说：“这台光刻机非常好，我们想要委托机械厂替我们多生产几台，这里也跟您说一声。”
王浩然自然是也答应了。
在他看来，8086处理器比那台光刻机可是厉害太多了！
这个成果必须得自己独有，然后还要面向全世界宣布！
(本章完)
吴极不无感慨地说道：“浩然同志，如果不是遇见你，也不知道咱们要在黑暗之中摸索多久才能掌握那套设备的使用技术呢。”
“我寻思着我的英文也不算差啊，为啥会费那么大的劲儿用了那么长的时间也无法摸索清楚呢？”
王浩然微微一笑说道：“主要是他们这套设备设计得不够科学。”
“还有就是，您不熟悉这套电脑软件的用法。”
现在的蜥方，个人计算机的市场推广已经在加快速度。
苹果公司之外，还有至少六七家公司在推自己的微型电脑。
而华国过去自己搞出来的微型计算机，其实它就是专门用来搞计算的，跟蜥方的微型电脑是真的有很大的不同。
电脑科技真的要开始发力了。
张勇存笑着举起了酒杯，说道：“感谢浩然同志！”
“您一来就解决了咱们的大问题啊！”
“我敬您一个。”
王浩然赶忙端起自己的酒杯和张勇存碰了下杯。
碰杯的时候，他特别抬高了一点张勇存的手，让自己的杯子比张勇存的低了那么一点。
这是酒桌上的规矩。
张勇存是年长的前辈，王浩然自然是要表示一下尊重。
“张厂长您客气了呀，哈哈！”
王浩然一饮而尽。
王浩然虽然不善饮酒，但别人敬的酒得喝完了。
张勇存也是一口喝掉杯中的酒，他亲自给王浩然倒酒。
一边倒一边说道：“咱们厂现在生产任务很重啊！”
“良品率太低了，而国家的需求又很多，就算是没日没夜地加班生产，也满足不了需求。”
“这事儿让我常常感到苦恼。”
王浩然点点头说道：“我能理解您。”
张勇存又说：“听人说，国外的先进的曝光机系统生产效率非常的高。”
“咱们想要引进，国家也大力支持，但是，人家目前还对咱搞封锁，不肯卖。”
“咱们只能钱买人家的先进芯片，价格十分昂贵……”
曝光机系统，其实就是光刻机。
光刻机又被称之为掩模对准曝光机。
如今，先进的成套芯片制造流水线，龙国是买不到的。
王浩然笑着说道：“张厂长，我之所以过来你们厂学习，是因为我刚刚申请了一个芯片生产流水线改进的课题。”
“我打算研制一套国产的光刻机流水生产线。”
“把芯片生产的所有工序设备统统都改良一个遍儿。”
“这么做，也是为了提升咱们的芯片生产效率。”
张勇存等人一听都是大喜。
“真的吗？搞了半天，浩然同志你是要研制国产芯片生产线啊！哈哈哈！”张勇存大笑着说道。
吴极也是又惊又喜：“这可是咱们厂目前最最需要的东西了！咱们需要生产效率更高的生产线！”
刘中友只是笑，他有点儿不太相信，王浩然真的能搞定这么浩大的一个课题工程。
他是学机械出身。
他太知道设计机械生产设备的难度了。
他也曾经想要改进曝光机，提升芯片生产效率。
但是，他努力了好几年了，也没什么进展呀。
王浩然说：“总得来说，咱们现在各个工业领域都存在生产效率不高这个问题。”
“这主要是因为咱们的生产设备已经落后于时代了。”
“机械设备越是标准化、自动化程度高，生产的效率也就会相应地大幅度提升。”
“而要想提高生产设备的标准化自动化程度，那就要让机械设备有自己的大脑。”
王浩然说着还用手指轻轻戳了一下自己的头。
刘中友问了一句：“让机械设备拥有自己的大脑？这是什么意思呢？”
王浩然说：“就是给设备安装控制程序，用处理器充当其大脑，写入操控程序，使得其可以自动化规范化地进行生产。”
“几位都去过国外参观考察吧？”
张勇存三人都纷纷点头。
张勇存说：“咱们1972年跟脚盆关系正常化之后，我们组织去过脚盆进行考察。”
“真就如浩然同志说的，我们发现，脚盆的工厂跟我们的完全不一样，他们的车间内有很多都是流水线作业，自动化程度高，效率也很高。”
王浩然说道：“其实我们只要对我们的生产设备进行改造，我们很快就可以赶上对方。”
“但关键一点，还是在芯片这一块啊！”
“所以，我们必须得先把芯片的问题给解决了。”
张勇存点点头说道：“今天晚上听浩然同志一席话，我真的是茅塞顿开啊！”
“没得说，您需要咱们提供什么样的支持，尽管说就是！”
“咱们一定全力配合！”
王浩然微笑着表示了感谢。
当晚，王浩然就在742厂的招待所住下。
次日早上，张勇存亲自过来陪王浩然一块儿吃早点。
早饭吃完之后，王浩然终于有机会前往742厂的车间参观。
其实也不是专门的参观，而是王浩然要用8086的掩膜版生产处理器芯片的样品。
王浩然进到车间一看，他内心叹了口气：呈现在眼前的压根不是现代化的生产车间，倒像个机械作坊。
设备也都很落后，基本上都是靠熟练工人的经验手感生产。
这种生产模式不是一般的落后啊。
而且，现在的硅片也只有3英寸，算是很小的尺寸了。
可如今在蜥方，主流芯片生产企业已经普遍在使用8寸的硅片了。
硅片尺寸越大，成本效益就越高，毕竟，大硅片意味着可以生产更多的芯片，还可减少生产过程中的废料率。
“浩然同志，这就是咱们自己研发的曝光机。”张勇存特别给王浩然介绍国产的光刻机设备。
那只是个很简陋的工作台，一看便知需要工作人员依靠自己的经验进行大量的操作。
而且，这光刻机还是硬接触式的。
所谓硬接触式光刻机，是指掩膜版跟晶圆上的光刻胶直接接触，紧贴晶圆，中间没有任何间隙。
这就会导致光刻胶污染掩膜版，而掩膜版被污染之后，那基本上就报废了，勉强使用，生产出来的全都是废品。
王浩然说：“张厂长，我现在终于明白为啥咱们良品率那么低了啊。”
“硬接触式的光刻机生产效率太低，而且，容易出废品。”
张勇存叹了口气说道：“您说得对。”
“咱们也一直想要改进呢，但是，目前还没有什么进展。”王浩然想了一下，说道：“张厂长要是相信我，我或者可以把这台光刻机给改进一下。”
“也许只需要一个很小的改进，它就能大幅度提升良品率了。”
王浩然这里嘴上说的只是个小的改进，其实吧，真要改动起来，是需要大动干戈的。
王浩然想要把接触式的光刻机改成接近式光刻机。
所谓接近式光刻机，掩膜版与晶圆之间并不真正接触，而是有了一个非常小的距离。
这个距离只有几个微米，这就可以使得掩膜版和硅片不会直接接触，进而降低了损坏的风险。
王浩然将自己的想法这么一说，张勇存还没说啥呢，刘中友和吴极都是大摇其头。
刘中友说：“浩然同志啊，那么小的距离，人工是没办法操作的。”
“除非设计一个精巧的机械装置。”
“但要设计这样一个机械装置，很难。”
吴极也说：“这个设想，咱们也有过，不过，因为无法实现，就最终放弃了。”
张勇存笑道：“吴工，刘工，伱俩也别先忙着否定，好不好？”
“浩然同志既然都这么说了，那没准他就有办法解决。”
吴极抓了抓自己的头发，有点儿不好意思地说：“我忘了浩然同志比咱们聪明太多这茬儿。”
“浩然同志，你打算怎么改进，咱们给你打下手。”
王浩然说：“我先画个设计图，干脆的，咱们就在试验车间里重新搞一台全新的光刻机出来，怎么样？”
张勇存点头道：“没问题，咱们全力支持！”
“您这可是在帮咱们的忙啊！”
于是，接下来，王浩然就先把接近式光刻机的设计图给画了出来。
设计图好画，但有些技术却是不容易达到的。
王浩然要让这台光刻机拥有一定的自动化规范化的生产能力。
那就需要给它搞个中控电脑。
这样的话，王浩然就要先设计处理器芯片，再搞一款传感器芯片。
他还要编写一个简单的控制程序，让这个程序来自动驱动机器完成曝光这个工作。
至于设备的加工，也是需要他亲自参与，亲力亲为的。
就这么地，王浩然在742厂待了足足二十多天，这才总算是把一台接近式的光刻机给搞了出来。
这台光刻机其实就是先凑合一下。
它设计简单，制造也简单。
当然，它也只能曝光跟掩膜版同样大小的晶圆。
这样的光刻机，目前在国际上也是已经有点儿落伍了。
接近式的光刻机造出来之后，已经是到了1978年的4月底了。
试验车间里，742厂的骨干技术人员和高管几乎都在。
他们看着眼前这台已经跟目前厂内使用的主力曝光机外形迥异的机器，都有点儿兴致勃勃。
当然，他们还有点儿忐忑。
他们不知道这台机器到底怎样，会不会更加好用一些。
“浩然同志，现在，咱们可以尝试着生产你之前设计的那款处理器芯片了吧？”张勇存笑着说道。
王浩然点点头说道：“可以的！”
“咱们费了那么大的劲儿总算是搞出来一台新机器，现在，是骡子是马，要拉出来遛遛了。”
王浩然内心此刻倒是自信满满。
因为，这台机器造得很完美。
造出来之后他就测试过了，还是相当好用的。
这台光刻机，他甚至连光源都做了改进，原本国内的光刻机都用的是汞灯来做光源。
而他在这台接近式光刻机上使用了一种全新的led阵列光源。
这种光源比之前使用的汞灯要好了不是一点半点。
当然，如果没有国家的支持，有很多材料目前是不容易找到的。
于是，接下来就开始测试新的光刻机。
在测试的过程中，王浩然和刘中友亲自操作。
刘中友只是打下手。
新的光刻机的工作表现让刘中友感到震惊。
因为，这台光刻机大量减少了需要人力操作的步骤。
响应速度快，曝光效果好。
而且，掩膜版也真的避免了被污染。
测试的时候，742厂的其他技术骨干和高管就在一旁围观。
他们所有人都被震惊了。
因为，这台新发明的光刻机显然要比老光刻机厉害了太多太多！
生产效率直接几何倍数的提升。
张勇存感慨地对吴极说道：“我觉得咱们之前的光刻机简直就是一堆工业垃圾！”
“也难怪咱们过去的良品率那么低了。”
既然要把8086处理器芯片给造出来，那当然就得在光刻之后做其他后续工序的处理。
这些工序加起来又用了好几天的时间。
到了4月中旬左右，第一批8086处理器芯片总算是完成了。
完成之后就是测试。
测试的结果显示，这块处理器各种参数十分惊人！
整个742厂轰动了。
张勇存高兴坏了。
因为，这是一下子搞出来两项重大发明啊！
张勇存就跟王浩然商量：“浩然同志，新的光刻机咱们很需要，这个成果是你为主搞出来的，能否在上报的时候，也加上我们742厂这边技术人员的名字？算是咱们742跟京城工业学院一块儿的合作成果？”
王浩然笑着说道：“当然没问题！”
“这台光刻机能够诞生，也离不开张厂长和各位742厂同志的帮助呀！”
王浩然答应得十分爽快。
因为，人家的确是帮了很多忙嘛！
张勇存大喜过望，他搓了搓手，说：“谢谢浩然同志！”
“那咱们就把这个成果上报了，你是成果的主要发明者，其他人都是辅助合作伙伴。”
王浩然说：“那就按您的想法办吧。”
张勇存说：“这台光刻机非常好，我们想要委托机械厂替我们多生产几台，这里也跟您说一声。”
王浩然自然是也答应了。
在他看来，8086处理器比那台光刻机可是厉害太多了！
这个成果必须得自己独有，然后还要面向全世界宣布！
(本章完)